ASML新廠 獲2.85億補助
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艾司摩爾去年宣布在台擴大投資，興建林口新廠發展2奈米設備。
經濟部證實，艾司摩爾「下世代晶圓量測設備研發夥伴計畫」已獲核定。艾司摩爾同意再提高自製率、新增6家台灣供應商，在台採購金額也拉高至每年72億元。
全程計畫24個月，開發總經費新台幣9.5億元，補助經費新台幣2億8,500萬元、占計畫經費30％，其餘經費由廠商自籌。
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