如何決定氮氣的純度



無論是在化工、電子或半導體及光電等製程中，由於氧活性很強會與系統之物質產生反應形成非期望之氧化物，影響產品之良率，造成產線嚴重之損失。因之在一些精密產業之製程中需要以非常高純度之氮氣予以氮封，使系統在一無氧之環境作業。在論及製氮製程之前，在此先簡述 O2 及 N2 之物性；

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氮氣機維修保養