半導體無塵室設計權威 北科大教授榮獲國家產學大師獎

國立臺北科技大學講座教授胡石政三十多年來投入「潔淨室與高科技廠房設施」研究，與30家廠商建立產學合作技術聯盟，是國內外晶圓製程汙染控制的權威，對於提升國內半導體產業競爭力貢獻卓著，今天（17日）獲頒教育部國家產學大師獎。

北科大說明，細數這十年，胡石政教授為學校帶進超過2億元的產學合作收入、技轉及專利衍生金等。其中最成功的產學合作案，當屬與台積電合作的晶圓微小汙染控制的解決方案，其專利改善了傳統晶圓載具的缺點，提昇產品良率，成為高階半導體製程的標準設備，不僅獲英特爾、美光採用，更推進到台積電在亞利桑那州的新廠。

過去臺灣的半導體設備多仰賴國外進口，但很難確切符合實際製程需求。胡石政教授領導北科大「潔淨技術研發中心」和前瞻技術總部「半導體廠務與製程設備研發中心」，在潔淨室工程控制領域上不斷精進研發、推陳出新，協助臺灣當地廠商因地制宜，有能力就近提供設備及服務，成為產學合作技術轉移的典範，為廠商開拓新的商業模式。

胡石政教授謙稱，十多年前升教授以後，才漸漸看到研究的全貌，「工科應該經世濟民，為什麼不把研究的idea接到市場去？」因此投入專利開發，為企業研發並提供服務，力尋研究的出海口，十三年來連年榮獲北科大特殊優秀研究人才獎。

相識超過三十年的北科大能源系教授施陽正觀察到，「產學合作的成功，需要時間的歷練。」從工研院開始，胡石政教授專注在無塵室工程、半導體這塊領域三十多年，一方面非常勤勞跑園區，了解廠商的需求，另一方面他在專業領域的耕耘，吸引優秀的學生願意跟著學，形成強大的研發團隊。

胡石政教授表示，在全球ESG趨勢下，正在開發可再生利用的化學濾網，希望再生百次以上仍能擁有同樣效能，將會是大幅減少廢棄物、降低碳排放，對環境友善的革命性產品。

(yahoo奇摩新聞)