 Canon（佳能）近期推出了 NIL（奈米壓印微影）技術，透過壓印方式減去傳統微影技術的大量曝光時間，可達成較當前 EUV 曝光機十分之一的生產成本和耗能，本文深入討論 NIL 技術的原理，以及未來在半導體產業尤其是記憶體（包含 NAND Flash 和 DRAM）產業的可能應用

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