5奈米
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奈米壓印微影技術是一項近年來備受關注的新興製程方法，其核心概念是利用電子束或光學微影的方式製作光罩模具，然後將這些模具上的圖案重複地壓印在光阻劑上，從而形成微小的圖案。這種技術具有快速、高效的特點，能夠大量製作100奈米以下的圖形，並且廣泛應用於軟性電子產品製造以及先進製程中。
傳統的光學微影
