2022-06-05|閱讀時間 ‧ 約 7 分鐘

半導體化學機械研磨(CMP)材料供應商名單彙整

化學機械研磨(chemical mechanical polishing or planarization, 簡稱CMP)技術，可以將晶圓(wafer)的表面研磨成像鏡面一樣光滑，是晶圓製造商(例如環球晶、台勝科)及晶片製造商(例如台積電、聯電、三星、Intel)都會用到的製程技術。

化學機械研磨製程，會用到研磨液(CMP slurry)、研磨墊(CMP pad)及鑽石碟(CMP conditioning disk)三種材料。剛從晶柱(ingot)上切割出來的晶圓，表面粗糙，要放在研磨墊上研磨；剛完成一層電路製作的晶圓也需要研磨，讓晶片上沉積的介電層或導電層平坦化，以便進行下一層電路製作。研磨墊上會滴入研磨液，裡面含有化學物質及研磨粒子，研磨液會在研磨墊上不斷地流動，讓表面粗糙的晶圓隨著研磨的進行逐漸平坦化。研磨墊使用一段時間後，需要使用鑽石碟進行修整，以維持研磨的效能。

研磨液、研磨墊及鑽石碟是半導體製造過程中的重要耗材(consumables)，國際半導體產業協會(semi.org)對這三種耗材分別訂定了許多標準，俾便供應商遵行。

台積電在2021年報上公布的「主要原物料供應狀況」這張表格中，最後一個大項就是研磨液、研磨墊及鑽石碟的主要供應商名單。請參考下表。

上述供應商名單內都是國外廠商。台股投資人可能會有疑問：中砂(台股代號：1560)是台積的3奈米鑽石碟最大供應商、未上市的智勝科技也是台積重要的研磨墊供應商，怎麼都沒在名單內？

CMP製程的三種材料，耗用成本最高的是研磨液，這並非國內廠商的擅長項目。此外，上述名單中的廠商，許多都同時供應兩種或三種耗材，這就比起分別專注供應鑽石碟及研磨墊的中砂及智勝更有份量。

本文以上述台積供應商名單為基礎，參考重要的CMP產業分析報告，整理出CMP三種耗材的主要供應商名單，供各位讀者參考。

全球主要CMP slurry供應商

根據Transparency Market Research的產業分析報告(摘要連結)，全球主要的CMP研磨液供應商有以下14家：

3M：美國明尼蘇達礦業及製造公司
Applied Material：美國應用材料公司
BASF：德國巴斯夫公司
Cabot Microelectronics Corporation：美國嘉柏微電子材料公司，已於2020年10月改名為CMC Materials。
DONGJIN SEMICHEM CO LTD.：韓國東進世美肯公司
Dow Chemicals：美國陶氏化學公司
Evonik Industries AG：德國贏創工業公司
Ferro Corporation：美國福祿公司
Fujifilm：日本富士電子材料
Fujimi Corporation：日本Fujimi株式會社(全球最大研磨材料供應商)
KCTech：韓國凱斯科技公司
Samsung SDI：韓國三星SDI公司
SHOWKA DENKO Materials co. Ltd (Hitachi Chemical)：日本昭和電工材料(前身為日立化成)
Soulbrain Co., Ltd.：韓國Soulbrain公司

除了以上14家公司，以下這2家公司也是產業分析報告常提及的知名研磨液供應商：

AGC：日本AGC株式會社
ACE Nanochem：韓國Ace奈米化學公司

以上16家公司中，美國佔5家，韓國佔5家，日本佔4家，德國佔2家。台灣雖然是半導體製造大國，但在CMP研磨液這項耗材上，尚無公司具有舉足輕重腳色。上市公司華立企業(股票代號：3010)是國內重要的研磨液代理商，但並非原始供應商；位於新竹湖口的亞泰半導體是重要的研磨液供應系統製造商，但該公司是設備商，而非材料供應商。

全球主要CMP pad供應商

根據Transparency Market Research的產業分析報告(摘要連結)，全球主要的CMP研磨墊供應商有以下8家：

3M：美國明尼蘇達礦業及製造公司
Anton Paar GmbH：奧地利安東帕公司
Cabot Microelectronics Corporation：美國嘉柏微電子材料公司，已於2020年10月改名為CMC Materials。
Crystec Technology Trading GmbH：德國公司
DuPont：美國杜邦公司
Eminess Technologies：美國公司，已於2020年12月被瑞士Microdiamant公司併購。
Kemet International Limited：英國凱美特國際公司
Logitech LTD：英國公司

除了以上8家公司，以下兩家公司是規模雖小但在研磨墊市場常被提及的公司：

TWI Materials：美國公司
智勝科技(iVT)：近兩年常被媒體提及的台灣半導體材料國家隊成員之一，總公司位於台中

全球主要CMP disk供應商

以下這幾家公司是產業分析報告常提及的CMP鑽石碟供應商：

3M：美國明尼蘇達礦業及製造公司
Asahi：日本Asahi鑽石工業株式會社
Kinik：中國砂輪公司(簡稱中砂，股票代號：1560)，總公司位於新北市鶯歌區，是台灣CMP耗材供應商中唯一具有國際知名度的公司
SAESOL：韓國Saesol鑽石工業公司
SHINHAN：韓國SHINHAN鑽石工業公司

中砂是台灣最重要的半導體鑽石碟國家隊成員，並在台積的3奈米製程中超越3M，成為最大的鑽石碟供應商。但中砂未來可能會遇上新對手，有競爭會更進步，且讓我們拭目以待。

(周國華，2022/6/6)

(各位讀者若對半導體產業的其他主題有興趣，可參考周國華老師的半導體產業分析教學網站：http://www.ais.nptu.edu.tw/SemiCon/SemiCon.html)

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