無塵室並非無塵,而是空調箱吸入外氣,空氣利用濾網的層層過濾,來達到無塵室的無塵要求。
而無塵室的等級通常比較常見為Class10及Class100,000;淺而易懂的意思是在一立方的空氣體積內,有10顆灰塵就是Class10,同理有100,000顆灰塵就是Class100,000。
無塵室氣體的流動形式,又分為層流式跟混流式。溫度方面需要恆濕恆溫,庫板牆需要有抗靜電,地板也需要有效的接地,來導流產生的靜電。
無塵室的清潔,人員進出需要穿無塵衣,清潔人力在無塵室內清潔,使用無塵室專用的清潔工具,擦拭方式為由上而下,由內而外反覆清潔,清潔的布品為不重複使用。
無塵室工作服需要定期清洗,並需要準備一人至少兩套的無塵衣替換,這衣服的替換跟送洗也是清潔人力需要負責的範圍。
無塵室的物料進口進料需要在緩衝區除塵,除塵後物料才能進入無塵室的緩衝區,進行空氣淋浴後才能進入無塵室。
無塵室的成品要出口,需要在出口緩衝區做好產品包裝,等候倉庫人員拖出。
無塵室清潔不只限於空間內,在無塵室上方天花板及地板或柱邊回風口,都需要定期清潔擦拭。而清潔頻率及標準是依照無塵室功能測試報告為準,有效控制污染源並期更換濾網才能達到並維持Clean Room的功能。