無塵室並非無塵，而是空調箱吸入外氣，空氣利用濾網的層層過濾，來達到無塵室的無塵要求。
而無塵室的等級通常比較常見為Class10及Class100,000；淺而易懂的意思是在一立方的空氣體積內，有10顆灰塵就是Class10，同理有100,000顆灰塵就是Class100,000。
無塵室氣體的流動形式，又分為層流式跟混流式。溫度方面需要恆濕恆溫，庫板牆需要有抗靜電，地板也需要有效的接地，來導流產生的靜電。無塵室的清潔，人員進出需要穿無塵衣，清潔人力在無塵室內清潔，使用無塵室專用的清潔工具，擦拭方式為由上而下，由內而外反覆清潔，清潔的布品為不重複使用。
無塵室工作服需要定期清洗，並需要準備一人至少兩套的無塵衣替換，這衣服的替換跟送洗也是清潔人力需要負責的範圍。
無塵室的物料進口進料需要在緩衝區除塵，除塵後物料才能進入無塵室的緩衝區，進行空氣淋浴後才能進入無塵室。
無塵室的成品要出口，需要在出口緩衝區做好產品包裝，等候倉庫人員拖出。
無塵室清潔不只限於空間內，在無塵室上方天花板及地板或柱邊回風口，都需要定期清潔擦拭。而清潔頻率及標準是依照無塵室功能測試報告為準，有效控制污染源並期更換濾網才能達到並維持Clean Room的功能。
