無塵室機檯安裝：三大關鍵準備步驟，一次到位免重工

大家知道嗎？

在 機台進到無塵室正式定位之前，其實有一連串的準備工作要先完成。這些細節如果忽略了，可能會造成後續安裝延誤，甚至需要二次施工。

1️⃣ 機台腳位放樣圖

• 在機台進場前，會先準備 機台腳位圖。
• 工程人員會依照圖面，把機台關鍵的腳位位置 標示在地板上（放樣）。
• 這個動作看似簡單，卻非常重要，因為：
• • 機台位置會影響 天車是否能正確搬運 FOUP 到機台上。
  • 腳位不準確，會導致後續定位時間延長，甚至需要重新移機。

2️⃣ Punch Hole 位置確認

• 無塵室內的機台通常需要 粗抽管路、特氣管線或電力線。
• 這些管線大多要從 Subfab（地下層）拉至機台，因此需要在地面預留 Punch Hole（開孔）。
• 若孔位與機台位置不符合，可能導致：
• • 現場需要再二次裁切開孔。
  • 若孔被機台擋住，更糟的是要 先移出機台再重做定位 → 不僅耗時，也增加風險。

3️⃣ 進機路線規劃

• 在機台進場的前幾天，會先與廠商討論 進機路線。
• 需要確認：
• • 路線是否暢通，有沒有其他機台或障礙物。
  • 若有阻礙，是否需要 臨時移動、拆卸或調整。
• 一開始在「什麼都沒有的無塵室」就規劃好進機順序和機台擺放位置，會讓後續安裝更有效率。

🔑 總結

機台要順利進到無塵室並快速完成定位，三大關鍵準備絕不能忽視：

1. 腳位放樣圖 → 精準標記機台位置。
2. Punch Hole → 預先確認孔位與大小。
3. 進機路線 → 排除障礙、確保運輸順暢。

✅ 做得精準，機台到位一次完成。

❌ 忽略細節，就可能重工，甚至要把機台移出再來一次！

下次看到廠務人員在地板上畫線、貼標籤時，你就知道他們正在進行「放樣」這個關鍵步驟啦！