剛進入半導體產業做設備工程師時，學習的情境常常是這樣：
學長遞給你一本厚厚的 manual，或者今天剛好機台出狀況，要 troubleshooting，就讓你跟著看、邊做邊學。 問題是——剛入行的你，對機台還沒有概念，manual 上的步驟或學長的做法，往往只能照抄卻不懂「為什麼要這樣做」。
經過幾年的經驗累積，我發現可以用一個更系統化的方式，把機台拆解成幾個環節來學，能讓新進工程師更快建立全貌觀。
PS：記住，機台上的每個設計都是有原因的，學習時盡量站在設計者的角度去思考。
一、機構（Mechanical）部分
- 認識物料與位置
打開 manual，先確認機台各元件的名稱、位置與作用，這是理解機台的基礎。 - 掌握 Wafer 傳送路徑
確認 wafer 在機台內的傳送方式、robot 如何夾取與夾取位置、傳送動作的順序與邏輯。 - 水 / 電 / 氣 系統
- 水：例如冷卻水、溫控用 Glycol
- 電：機台使用的電壓種類、電箱開關與元件對應
- 氣：一般氣體（CDA、N₂）與特殊氣體（SiH₄、NF₃…） 如果能在入行的第一個月搞懂這些，等於已經對機構部分有了初步的掌握。
二、電路（Electrical）部分
- 物料與感測器的配對關係
- Heater → 溫度感測器（Thermocouple）
- 真空系統 → 壓力計（Vacuum Gauge)
- 動件裝置 → 極限感測器 (Limit sensor)
- Interlock 設計
好的機台設計會有安全機制，例如腔體門沒關好就無法啟動。 ⚠️ 安裝或維修時有時需要 bypass interlock，但務必清楚知道這會觸發什麼後果。 - 控制器與元件的連線
了解電線如何從控制器接到各單元。 - 讀電路圖
學會從公司提供的電路圖中看出系統間的元件連線方式，這對 troubleshooting 很有幫助。
三、軟體（Software）部分
- GUI 與實體對應
在操作介面（通常是 GUI 圖像介面）時，能將畫面與實際機構元件做連結，才能精準操作。 - GUI上的一些程式功能
了解介面上每個按鈕的功能。
總結
要徹底理解一台機台，需要時間與經驗的累積，但如果一開始就能掌握「機構 → 電路 → 軟體」的全貌，後續不論是學習還是解決問題，都能事半功倍。
充分了解機台不只可以幫助自己解決問題的效率, 也可以避免因為一些不熟悉的動作或程式指令導致人員受傷。
操作安全意識很重要
在 bypass 狀態下操作前，一定要確定機台接下來的動作，以及現場人員的位置。 ⚠️ 不少職災案例都是來自誤操作，嚴重時甚至可能致命。
希望這份整理，能幫剛進入半導體產業的你少走一些彎路，學習更快， troubleshooting 更有邏輯。
