ASML設備輸陸 最快月底擴大管制

荷蘭將祭半導體出口新禁令，DUV估受衝擊

• 艾司摩爾的微影設備為何如此重要？
• 荷蘭的出口管制措施有哪些內容和影響？
• 中國半導體產業如何應對荷蘭的出口管制？

正文

艾司摩爾的微影設備為何如此重要？

艾司摩爾是全球最大的微影設備製造商，其產品涵蓋了極紫外光（EUV）、浸潤式深紫外光（DUV）和乾式深紫外光（Dry DUV）等各種技術，廣泛應用於半導體製程中。其中，EUV和DUV是目前最先進的微影技術，能夠製造出更小、更快、更省電的晶片。

EUV是最高階的微影技術，能夠實現7奈米以下的製程節點，目前只有艾司摩爾能夠提供EUV設備，並且只有三星和台積電能夠使用EUV設備進行量產。由於EUV技術的難度和成本非常高，目前中國還沒有企業能夠掌握EUV技術，也沒有獲得艾司摩爾的EUV設備。

DUV是次高階的微影技術，能夠實現14奈米到7奈米之間的製程節點，目前艾司摩爾在DUV市場佔有超過80%的份額，其競爭對手主要是日本的日立和佳能。由於DUV技術相對成熟和穩定，目前中國有多家企業能夠使用DUV技術進行生產，例如中芯國際、華力微、長電科技等。其中，中芯國際已經實現了14奈米製程的量產，並且計劃在2022年實現7奈米製程的試產。

可以看出，艾司摩爾的微影設備對於半導體產業的發展至關重要，尤其是DUV設備，是中國半導體產業追趕先進製程的關鍵。如果荷蘭限制艾司摩爾向中國出口DUV設備，勢必會打亂中國半導體產業的發展計劃，造成不小的困難和挑

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