2023-06-24|閱讀時間 ‧ 約 3 分鐘

ASML設備輸陸 最快月底擴大管制

荷蘭將祭半導體出口新禁令,DUV估受衝擊

半導體產業是當今科技發展的核心驅動力,也是各國爭奪競爭優勢的關鍵領域。然而,在中美貿易戰和疫情衝擊下,全球半導體供應鏈面臨嚴峻挑戰,各方都在加緊布局自主產業鏈,以確保半導體安全。
在這樣的背景下,荷蘭政府可能最早在6月30日祭出新一波對中國的半導體設備出口禁令,相關禁令將擴大限制微影設備巨頭艾司摩爾(ASML)出口產品至中國,預計浸潤式深紫外光(DUV)相關設備將受衝擊。
這對中國半導體產業意味著什麼?荷蘭的出口管制又是基於什麼考量?本文將從以下幾個方面來分析:
  • 艾司摩爾的微影設備為何如此重要?
  • 荷蘭的出口管制措施有哪些內容和影響?
  • 中國半導體產業如何應對荷蘭的出口管制?

正文

艾司摩爾的微影設備為何如此重要?
艾司摩爾是全球最大的微影設備製造商,其產品涵蓋了極紫外光(EUV)、浸潤式深紫外光(DUV)和乾式深紫外光(Dry DUV)等各種技術,廣泛應用於半導體製程中。其中,EUV和DUV是目前最先進的微影技術,能夠製造出更小、更快、更省電的晶片。
EUV是最高階的微影技術,能夠實現7奈米以下的製程節點,目前只有艾司摩爾能夠提供EUV設備,並且只有三星和台積電能夠使用EUV設備進行量產。由於EUV技術的難度和成本非常高,目前中國還沒有企業能夠掌握EUV技術,也沒有獲得艾司摩爾的EUV設備。
DUV是次高階的微影技術,能夠實現14奈米到7奈米之間的製程節點,目前艾司摩爾在DUV市場佔有超過80%的份額,其競爭對手主要是日本的日立和佳能。由於DUV技術相對成熟和穩定,目前中國有多家企業能夠使用DUV技術進行生產,例如中芯國際、華力微、長電科技等。其中,中芯國際已經實現了14奈米製程的量產,並且計劃在2022年實現7奈米製程的試產。
可以看出,艾司摩爾的微影設備對於半導體產業的發展至關重要,尤其是DUV設備,是中國半導體產業追趕先進製程的關鍵。如果荷蘭限制艾司摩爾向中國出口DUV設備,勢必會打亂中國半導體產業的發展計劃,造成不小的困難和挑
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