DUV

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前陣子ASML的前CTO Martin在IMEC ITF論壇上(阿財沒有找到完整的影片,有找到的朋友幫忙補充連結感謝)展示了ASML下一代EUV…(疑?High-NA EUV不是才剛出貨不久嗎…)沒有最大只有更大(我只的是NA)