虛擬製作需要追蹤虛實場景與演員的位置和移動軌跡，以呈現虛實畫面即時合成的效果。各類追蹤設備在不同規模的虛擬製作中扮演了關鍵的角色，而每種追蹤設備都有其自身的優勢和缺點。下面列舉一些目前全球虛擬製作專案中常見的追蹤設備，讓讀者對此類設備能有基本的認識與了解：
HTC VIVE / VIVE MARS：HTC VIVE 原本是平價的 VR 追蹤設備，使用控制器與感應器來追蹤用戶的手和頭的位置和移動。它易於設置，可用於較小的空間，所以在虛擬製作發展初期許多中小型團隊使用它做為追蹤解決方案。但是它的精度不如其他系統，沒有統一的設定流程，拍攝中也可能需要進行額外的校正。VIVE MARS 是專為虛擬製作設計的升級產品，增加了主控電腦與提高追蹤精度，設定與校正簡單並支援多攝影機，價格相對於其他虛擬製作專用的追蹤設備而言較為親民，對中小型團隊來說是一種高性價比的追蹤設備。
Vanishing Point Vector：使用兩種不同的追蹤攝影機以像素或深度的方式追蹤，因應不同的使用需求，Vanishing Point Vector 的優點是輕量可攜安裝簡易、不受場地限制、價格相對親民，並提供簡單易用的虛幻引擎外掛程式介面，一次滿足基本的虛擬製作軟硬體需求，非常適合教育場域課程規劃；缺點是精準度與穩定性可能無法滿足大型製作的需求，需要比較頻繁的校正。
被動式光學捕捉：光學動作捕捉除了用於捕捉角色動態，也可做為虛擬製作的追蹤系統，知名品牌如 Vicon, Optitrack...... 通常使用 12 部以上的紅外線攝影機陣列追蹤演員和物體 (攝影機) 上標記點的位置和移動。此類設備的優勢為精準度高並可同時追蹤多個主體，更能在表演中加入虛擬角色即時互動；缺點是它需要中大型的固定場域、設定步驟較為繁複與售價高昂。
主動式光學捕捉：有別於被動式光學捕捉，主動式光學捕捉系統將追蹤設備 (攝影機或感應器) 放置於攝影機上，去追蹤外部環境中的標記點，以此計算出自身的位置和角度。常見的品牌有 Mo-Sys, stYpe, Ncam...... 主動式光學捕捉的優點為穩定性與精準度高；缺點是它需要較大的固定場域與一定的施工成本、設定步驟較為繁複，售價高並需要受過訓練的專人操作。
iPhone 或 iPad：iPhone 或 iPad 經由適當的配件設計與搭配軟體開發，也可以做為虛擬製作的追蹤系統，結合了像素辨識與 LiDAR 的雷射測距輔助。追蹤能力甚至強過大多數中低階的追蹤產品，其優勢為硬體取得容易、應用環境廣泛、價格平易近人；缺點為需要較高的技術開發能力與時間。市面上已有使用 iPhone 或 iPad 結合虛擬製作的實例，這樣的簡易應用未來也會更為普及。
機械手臂：機械手臂移動的精準度與穩定性高，加上零干擾的特性，非常適用於條件嚴格的 LIVE 製作；另一個優點為攝影機路徑可以預先編程，呈現人力難以達到的複雜運鏡軌跡，減少掌鏡的成本與失誤；缺點是高階的機械手臂售價較高，需要一定程度技術開發能力與時間，拍攝現場也需要經過訓練的技術人員操作與維護。
