
在半導體製程中,常見的關鍵製程像是 PVD(物理氣相沉積)、CVD(化學氣相沉積)、Etch(蝕刻)、EPI(外延成長)、CMP(化學機械研磨)以及光罩(Mask)等,大多都仰賴「真空系統」來執行鍍膜、濺鍍、蝕刻等製程動作。
因此,真空系統可說是這些製程設備的「心臟」,運作是否穩定,直接影響產品的良率與機台的可用性。
🔧 真空單位與操作新手須知
在真空領域中,常用的壓力單位有 Torr、Bar 等,而對於剛進入半導體產業的新人來說,學習如何從「大氣壓狀態」抽成「真空」或「高真空」,以及反過來 venting(洩壓)回大氣,是最基礎也最重要的操作之一。
🛠 抽真空操作注意事項
從大氣壓狀態抽成真空之前,務必要確認以下幾點:
- ✅ 所有需要氣密的材料是否確實封閉。
- 🔒 機台的 interlock(聯鎖保護) 是否已解除,避免因保護機制未解導致真空幫浦的啟動閥無法開啟。
- 🌪 Pump是否能承受瞬間壓差?這通常會透過 蝶閥(Butterfly Valve) 等壓力控制元件來保護Pump。
💨 Venting(洩壓)回大氣須留意
當機台要從真空狀態 venting 回大氣時,也需注意以下重點:
- 🔐 所有與真空連接的閥件是否已關閉?否則 venting 進來的氣體會直接被幫浦抽走,可能導致效率低下甚至損壞設備。
- ⏱ 避免瞬間大量進氣導致壓力驟變,可使用節流閥控制進氣速度。
📌 小結
真空系統雖是幕後功臣,卻扮演著極其關鍵的角色。了解其運作原理與操作細節,是每位半導體工程人必備的基礎技能。熟悉這些流程,才能為高良率與穩定生產打下堅實的基礎!