【半導體機台定位後的關鍵檢查】

當半導體機台經過 Move in 放置到預定位置時，你是否想過，什麼才算是「定位完整」？

在現今自動化的晶圓廠中，定位不只是「把機台擺好」，它的重要性遠超乎想像。

為什麼定位這麼關鍵？

晶圓廠的自動化依靠天車（OHT, Overhead Hoist Transport）運送 FOUP，並精準地將其 Dock 到機台的前端。

👉 只有在機台位置正確、角度與高度符合規範時，天車才能順利完成動作。 若定位偏差，即使只有幾毫米，都可能造成：

• FOUP 無法放上去
• Docking 卡住
• 甚至整條自動化產線停擺

在早期沒有自動化的工廠，這些動作都依靠作業員手動搬運。如今自動化雖然大幅減少人力，但卻對定位精度提出了更高的要求。

定位後要檢查什麼？

在機台定位完成後，工程師必須進行以下檢查：

1. 前後位置：是否與產線設計圖相符。
2. 高度精度：機台 Load port 與 OHT 下料點是否水平一致。
3. FOUP 測試：會呼叫一組天車，實際 Dock FOUP 進行測試。

這些步驟看似繁瑣，但卻是確保整個自動化運輸系統穩定運作的關鍵。

結論

很多人以為「定位大概就好」，但實際上，一次到位、精準完成，才是省時省力的最佳策略。

因為一旦誤差太大，後續要重新調整，不僅浪費時間，還可能影響到整條產線的良率與效率。

📌 所以，定位不是形式，而是自動化工廠能否穩定運作的「第一道門檻」。