半導體製程系列 4/ 8 | 電晶體 CMOS:晶片的心跳

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想像你在廚房烹調 AI 晶片大餐的核心食材:電晶體,它是晶片的心跳,驅動每一次運算。這是《邊喝邊想》半導體製程系列的第四篇,上篇談氧化如何調理底醬,這篇聚焦 CMOS 如何讓電流節奏流暢。本系列共八篇,涵蓋晶圓、氧化、晶體管、摻雜、沉積、光刻、蝕刻/CMP。核心問題:電晶體如何成為 AI 運算的心臟?


CMOS 的邏輯與物理:從一顆二極體開始

P 型與 N 型半導體交界的空乏區,使電流具備單向導通特性,是 CMOS 的基礎。

P 型與 N 型半導體交界的空乏區,使電流具備單向導通特性,是 CMOS 的基礎。

CMOS 的根基在於 p-n 接面,也就是二極體的基礎結構。當 P 型半導體(富含電洞)與 N 型半導體(富含電子)接觸,界面處的電子與電洞相互擴散,留下一個沒有自由載子的空乏區(depletion region)。這形成一道天然閘門,控制電流流向。

空乏區的生成源於電荷重新分佈:N 型的電子流向 P 型,P 型的電洞流向 N 型,直到動態平衡建立,產生內建電場(矽中約 0.7V)。此電場阻礙進一步擴散,創造不導電屏障。施加順向偏壓(P 接正、N 接負)時,外部電場抵消內建電場,耗盡區縮小,電流通過;逆向偏壓則增強內建電場,擴大耗盡區,阻斷電流。這種單向導通性質是二極體的核心特性,也為晶體管提供了控制電流的物理基礎。通過精確調控摻雜濃度,可調整內建電場強度,影響電流的啟動電壓與效率。

MOSFET 與反轉層:電壓的指揮棒

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CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor)的核心元件是 MOSFET(MOS Field Effect Transistor,金屬氧化物半導體場效應晶體管)。以 NMOS 為例,P 型基底上植入 N 型源極與汲極,中間隔著一層極薄的氧化矽絕緣層。當閘極施加正電壓(高於臨界電壓 Vth),電場在矽表面誘發電子通道,將原本電洞主導的區域轉為電子主導,連通源極與汲極,形成電流路徑。PMOS 則相反,負電壓誘發電洞主導的反轉層。這種電壓控制的場效應如同指揮棒,精準調節電流開關。反轉層的形成依賴氧化層品質與厚度,3nm 製程中已薄至幾個原子層,挑戰材料極限。

為何不用 NMOS 或 PMOS 單獨,而要用 CMOS?

單獨使用 NMOS 或 PMOS 雖然可以實現基本的邏輯功能,但存在顯著局限性。NMOS 電晶體在高電位(邏輯 1)時導通,適合作為下拉開關,但靜態時會有漏電流,尤其在待機狀態下耗能較高。PMOS 則在低電位(邏輯 0)時導通,適合作為上拉開關,但同樣存在靜態功耗問題。單一類型的電晶體無法同時滿足高效與低功耗的需求,因為它們在靜態時無法完全關閉電流路徑,導致持續的能量損失。

反相器(Inverter)也稱 NOT gate。

反相器(Inverter)也稱 NOT gate。

CMOS 通過將 NMOS 和 PMOS 結合,將 NMOS 和 PMOS 串聯,構成反相器(inverter):輸入高電位(邏輯 1),NMOS 導通、PMOS 關閉,輸出接地(邏輯 0);輸入低電位(邏輯 0),PMOS 導通、NMOS 關閉,輸出連接到電源(邏輯 1)。當 NMOS 導通時,PMOS 關閉,反之亦然,確保電路在靜態時無電流流過,只有在切換狀態(如從邏輯 0 轉為 1 或反之)時才消耗能量。這種設計類似於一對協作的廚師,一人負責開火,一人負責關火,完美協調節省燃料。數據顯示,CMOS 比單一 NMOS 或 PMOS 電路靜態功耗可降低至微瓦級,甚至接近零,而切換功耗也因優化設計而顯著減少。這種特性讓 CMOS 成為現代積體電路的首選,尤其在需要長時間運作的設備如智慧型手機和穿戴裝置中,顯著延長電池壽命。此外,CMOS 的互補結構還提升了抗噪能力,減少了因電壓波動導致的誤動作,確保了邏輯運算的可靠性。

簡圖:反相器(Inverter)也稱 NOT gate。

簡圖:反相器(Inverter)也稱 NOT gate。


從 FinFET 到 GAA

隨著製程縮小至 3nm,CMOS 面臨漏電流與短通道效應的挑戰。傳統平面 MOSFET 難以精準控制反轉層,業界引入 FinFET(鰭式場效應晶體管),將通道拉高成鰭狀,閘極三面包覆,增強電場控制力。更先進的 GAA(環繞閘極)技術將閘極四面包覆,實現近乎完美的電流調控。台積電的 3nm 製程(2022 年量產)採用這些技術,使 Apple M2 晶片性能提升 18%,功耗降低 10%,延續 CMOS 生命力。

電晶體是 AI 晶片大餐的心跳,支撐高效運算。未來,GAA 技術將挑戰 2 奈米極限。電晶體如何讓你的手機更快、更省電?訂閱《邊喝邊想》,探索下篇摻雜如何為晶片調味!

(延伸閱讀:FinFET、GAA、CFET:三種幾何形狀解決同一件事

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想想,陪你一起理解世界的節奏。 聚焦於半導體、人工智慧、能源、量子科技與虛擬貨幣, 結合最前沿的學術研究與全球產業觀察, 幫助你在資訊爆炸的時代,快速看清知識的脈絡, 理解科技如何影響商業與生活。
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