DUV 的推手「林本堅博士」

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先前因為各類晶片大缺貨,晶圓代工廠又被各大媒體熱烈討論,台積電的產能甚至都成為國與國之間的外交對話,尤其是在車用晶片代工這部份。
除了因需求激增而導致產能不足的問題外,中美貿易戰的戰場也從關稅延伸到高科技設備禁運的制裁手段。其中一再被拿出來討論的便是 ASML 的 EUV 曝光機。
EUV 無疑是當下最先進的曝光機,也是美國嚴格限制的半導體重要製程設備,但 DUV 曝光機目前還是可以銷售到中國去的。
DUV(Deep Ultra-Violet) 深紫外線曝光機是屬於浸潤式設計,有別於當時主流的「乾式」微影技術。
這是一個極大的挑戰,因為跟主流的想法完全不同,這就是創新思維。
也因為 DUV 的成功,讓 ASML 彎道超車日本的 Nikon 及 Canon ,到今天成為半導體製程往前推進的關鍵角色。
還記得 2002 年時,台灣新聞也曾經大篇幅報導這個讓人振奮的消息,林本堅博士就是其中的核心推手,他雖然不是在台灣土生土長,但由於高中及大學均是在台灣就讀,因此媒體就自然而然的將他視為「自己人」。
究其後續的發展,攻讀博士及 IBM 22 年的工作經驗都是在美國完成,說是美國培育出來的人才完全沒有疑議。
但難得的是,在台積電的這個平台上,是在台灣研發及引導 ASML 開發出 DUV 的設備,這就表示台灣公司是有能力引領尖端科技發展的。
如今,沒有人會有疑問,畢竟台積電已經是世界級的大公司,不斷的突破最尖端的半導體製程技術。
但在 15 年前,這就是大新聞了,所以到現在都還有印象,可見當時這個突破是多麼可貴的事情。
據悉,林本堅博士早已自台積電退休,並轉往清華大學作育英才,他也快 80 歲了,台灣半導體產業能有今天的成就,真的多虧了他們這群 70 至 90 歲的人打下的基礎,時代不會忘記你們,這個創新創業的精神將永遠流傳下去。
閱讀可以用最低的成本來獲得別人經驗,培養閱讀能力,一生受益。但要記住,別只讓自己的大腦永遠處於「輸入狀態」,要適當地「輸出」自己的想法。透過閱讀輸入,再利用寫作輸出,就像「費曼學習法」說的一樣,教授到別人能夠了解,自己才算是領悟了這門學問。
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